Hierold, Christofer, Prof.

Professur für Micro und Nanosysteme (Englisch)

 

Interessensgebiete:

• Micro and Nano Systems and Processes

Biografie
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Christofer Hierold ist seit dem 1. April 2002 ordentlicher Professor für Mikro- und Nanosysteme an der ETH Zürich.

Christofer Hierold, geboren am 25. März 1962 in Regensburg, studierte Allg. Elektrotechnik, Schwerpunkt Halbleiter, an der Technischen Universität München. Er doktorierte bei Prof. R. Müller mit einem Ernst-von-Siemens-Stipendium und beendete als Visiting Scholar an der Universität von Washington, Seattle, U.S.A., sein Doktorat. Danach arbeitete er im Bereich Corporate Technology der Siemens AG in der Abteilung Mikroelektronik und baute dort die MEMS-Gruppe auf. Als Abteilungsleiter für Siliziumprozesstechnik war er verantwortlich für die Forschung und Entwicklung von Mikrosystemen, CMOS Prozessen, Speichern, Nanoelektronik und neuen Materialien. 1999 wechselte er zu Infineon Technologies AG und übernahm später als Vicepresident Technology and IP Management die Verantwortung für die Technologieentwicklung der Wireless Products Business Group sowie in Folge das Kompetenz- und Innovations-Management. Seine Forschungsleistung liegt auf den Grundlagen für CMOS-kompatible Mikrosysteme. Auf den Ergebnissen seiner Gruppe aufbauend, wurden ein integriertes Drucksensorsystem für Automobilanwendungen und ein Fingertipsensor auf dem Markt eingeführt. 1998 wurden sein Team und er für den Deutschen Zukunftspreis (Preis des Bundespräsidenten für Technik und Innovation) mit dem Projekt „Biometrischer Sensor FingerTIPTM“ nominiert. Christofer Hierold hält 15 Patente oder Patentfamilien als Erfinder oder Miterfinder.

Seine gegenwärtigen Forschungsschwerpunkte gliedern sich in die angewandte Forschung für integrierte Mikrosysteme (MEMS; MOEMS) der nächsten Generation und die Grundlagenforschung für Materialien der Mikrosystemtechnik und deren (mechanischen) Eigenschaften. Ein erstes Projekt wird auf dem Gebiet der Polymere als Material für Mikrosysteme begonnen.